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中圖儀器SEM掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍，制作工藝相對(duì)簡(jiǎn)單，材料成本也較低，使得鎢燈絲電子槍的整體成本不高，從而降低了臺(tái)式掃描電鏡的設(shè)備采購(gòu)成本。鎢燈絲電子槍可以在相對(duì)較低的真空度下工作，通常只需要兩級(jí)真空泵系統(tǒng)獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求，而不需要像場(chǎng)發(fā)射電子槍那樣的超高真空環(huán)境，這不僅降低了真空系統(tǒng)的復(fù)雜度和成本，還縮短了抽真空的時(shí)間，提高了工作效率。

中圖儀器SuperViewW白光干涉三維光學(xué)形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

CEM3000系列國(guó)內(nèi)高分辨力掃描電鏡運(yùn)用了快速抽放氣設(shè)計(jì)，讓用戶在使用時(shí)不再等待，且全系列可選配低真空系統(tǒng)，以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉(cāng)內(nèi)真空度，滿足不同樣品的觀測(cè)需求。此外，該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件，滿足用戶的拓展性需求，這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

CEM3000系列國(guó)產(chǎn)掃描電子顯微鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析。標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測(cè)需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

不同于立式電鏡，中圖儀器鎢燈絲掃描電鏡CEM3000系列無需占據(jù)大量空間來容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列臺(tái)式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺(tái)式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù)，展現(xiàn)出色的性能。

NS系列國(guó)產(chǎn)高精度臺(tái)階儀采用了磁吸式測(cè)針，當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時(shí)，可現(xiàn)場(chǎng)快速更換掃描測(cè)針，并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速標(biāo)定，確保換針后的精度和重復(fù)性，減少維護(hù)煩惱。