在光學(xué)精密加工領(lǐng)域,微納結(jié)構(gòu)元件的三維形貌檢測是保障器件性能的重要環(huán)節(jié)。以微透鏡陣列、衍射光學(xué)元件為代表的精密光學(xué)元件,其特征尺寸已突破亞微米量級,對表面輪廓精度與結(jié)構(gòu)面形誤差的檢測要求達(dá)到納米級分辨率。若加工過程中產(chǎn)生的邊緣塌陷、周期畸變...
小型輪廓測量儀是測量各種機(jī)械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備,采用高精度光柵測量系統(tǒng)、高精度研磨導(dǎo)軌、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)對各種工件表面輪廓進(jìn)行測量和分析。該儀器工作臺采用高精度的橫向氣浮道軌和滾動垂直道軌,移動精度高、穩(wěn)定性...
形貌儀采用全自動測量,提高測量效率,還采用白光共聚焦技術(shù),可實(shí)現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試,能夠快速的對樣品進(jìn)行三維測量,具有高重復(fù)性和高分辨率的特點(diǎn),可以用做尺寸比較大的樣品或檢測現(xiàn)場使用,測量度高。已被多個(gè)實(shí)驗(yàn)室、大學(xué)和行業(yè)...
光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試,和精密機(jī)械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。光學(xué)3D輪廓測量儀是精密光學(xué)測量設(shè)備,振動會對其測量精度造成擾動,所以幾乎都會配有隔振平臺。3d光學(xué)輪廓測量儀可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓...
全自動影像測量儀能夠便捷而快速進(jìn)行坐標(biāo)掃描測量與SPC結(jié)果分析,滿足現(xiàn)代制造業(yè)對尺寸檢測日益突出的要求:更高速、更便捷、更精準(zhǔn)。1、CNC測量失敗或超差可轉(zhuǎn)手動測量在影像儀實(shí)際測量過程中,由于被測工件存在差異,比如機(jī)械加工中出現(xiàn)的形變、倒角...
激光干涉儀以光波為載體,利用激光作為長度基準(zhǔn),是高精度、高靈敏度的測量儀器。激光干涉儀不僅廣泛用于裝備如數(shù)控機(jī)床、激光切割機(jī)、光刻機(jī)等,在計(jì)量檢定領(lǐng)域也能大展身手。1、測長機(jī)檢定傳統(tǒng)的測長機(jī)示值誤差主要采用量塊進(jìn)行校準(zhǔn),受環(huán)境因素影響較大,...
質(zhì)量檢驗(yàn)是保證產(chǎn)品質(zhì)量的手段。工件尺寸檢驗(yàn)指的是在實(shí)際生產(chǎn)情況下,用常用的計(jì)量檢測設(shè)備對工件進(jìn)行測量,判斷所得的尺寸數(shù)據(jù)是否合格的過程。可以說工件的檢驗(yàn)是保證產(chǎn)品質(zhì)量的重要條件。一鍵式閃測儀是一種適用于中小型工件尺寸批量測量的方法,操作方便...
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