在光學(xué)精密加工領(lǐng)域,微納結(jié)構(gòu)元件的三維形貌檢測是保障器件性能的重要環(huán)節(jié)。以微透鏡陣列、衍射光學(xué)元件為代表的精密光學(xué)元件,其特征尺寸已突破亞微米量級,對表面輪廓精度與結(jié)構(gòu)面形誤差的檢測要求達(dá)到納米級分辨率。若加工過程中產(chǎn)生的邊緣塌陷、周期畸變...
通過長期的技術(shù)經(jīng)驗積累,如今的自動影像儀在功能上配合探針和激光組的使用,出現(xiàn)介于2D和3D間幾何尺寸測量的儀器,業(yè)內(nèi)也稱為“2.5D影像測量儀”。廣泛應(yīng)用在各種不同的精密零部件測量中。影像儀適用于以二維平面測量為目的的一切應(yīng)用領(lǐng)域,但主要還...
影像儀的自動測量利用了表面光或輪廓光照明,經(jīng)變焦距物鏡通過攝像頭,攝取影像再通過S端子傳送到電腦屏幕上,通過十字線發(fā)生器和帶動光學(xué)尺的工作臺,經(jīng)由多功能數(shù)據(jù)處理器進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,最后通過軟件進(jìn)行計算完成測量。也就是通過樣品實測、圖紙計算、CN...
激光干涉儀基于激光多普勒原理,采用激光外差干涉技術(shù)和光纖傳輸技術(shù),通常由控制器、光纖、干涉儀、被測鏡、上位機(jī)軟件等部件組成,它可測量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量,比如位移、振動、速度、加速度、形變等等。其主要功能包括:定位精度、重復(fù)定位精度、...
高速指示表全自動檢定儀利用計算機(jī)軟件技術(shù),進(jìn)行人性化設(shè)計。對于每一位剛接觸本儀器的操作者來講,短時間內(nèi)即可學(xué)會,儀器操作界面良好,使用十分方便。功能強(qiáng)大,設(shè)計創(chuàng)新,全過程實現(xiàn)自動化,對檢表工作具有更新?lián)Q代重大意義。該產(chǎn)品體積輕便靈巧,占用空...
機(jī)床激光干涉儀可對機(jī)床、三測機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的(位害和幾何)精度校正,具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。可完成各項參數(shù)的測量。如線形位置精度、重復(fù)定位精度、機(jī)床角度、直線度、垂直度、平行度及平面度等...
無線球桿儀用于數(shù)控機(jī)床兩軸聯(lián)動精度快速檢測與機(jī)床故障分析的一種工具,主要是用于機(jī)床狀況監(jiān)控的快速、簡單、有效的方法,理論上,如果數(shù)控機(jī)床位置、性能優(yōu)異,那么機(jī)床運(yùn)行的圓軌跡應(yīng)該與預(yù)設(shè)定的圓軌跡*吻合。該儀器的核心即一個高精度伸縮式線性傳感器...
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